Die Vorbereitung und Verarbeitung vonZirkoniumzieleBinden Sie mehrere Schritte ein, einschließlich der Herstellung von Rohstoffen, der Herstellung von Zielblanks, der Verarbeitung in Zielmaterialien und der Behandlung vor dem Magnetron -Sputter. Der spezifische Prozess ist wie folgt:
Rohstoffzubereitung: Verwenden Sie reines Zirkoniumpulver oder Zirkoniumlegierungpulver als Rohstoffe, und die Reinheit muss normalerweise größer oder gleich 99,9%sein. Wenn Legierungspulver verwendet wird, müssen unterschiedliche Anteile an Zirkoniumpulver und Leichtmetallpulver entsprechend dem entworfenen Anteil gleichmäßig gemischt werden.
Drücken: Das gemischte Pulver wird von einer Pressmaschine in eine Rohliste gedrückt. Zu den häufig verwendeten Formungsmethoden gehören kaltisostatische Pressen (CIP) und heißes isostatisches Pressen (HIP). Kalt-isostatische Pressung eignet sich für eine niedrige Temperaturpressung und ist für das direkte Drücken von Pulver geeignet. Heißes isostatisches Pressen eignet sich für Hochtemperaturpressungen, wodurch Poren und Verunreinigungen im Pulver weiter beseitigt und die Dichte verbessert werden können.
Sintern: Die gedrückte Rohling wird bei hoher Temperatur, normalerweise durch heißes isostatisches Pressen (Hüfte), gesintert. Die Sintertemperatur und die Zeit müssen gemäß den spezifischen Material- und Prozessanforderungen angepasst werden, normalerweise über 1500 Grad. Während des Sinterprozesses ist es notwendig, die Atmosphäre zu kontrollieren, um Oxidation und Kontamination zu vermeiden.
FINDING: Der gesinterte Blank wird durch mechanische Verarbeitungsmethoden wie Drehen, Mahlen und Schleifen in die gewünschte Zielform verarbeitet. Verwenden Sie hochpräzise Verarbeitungsgeräte, um die dimensionale Genauigkeit und Oberflächenqualität des Ziels zu gewährleisten.
Oberflächenbehandlung: Das verarbeitete Ziel wird einer Oberflächenbehandlung wie Polieren oder chemischem Polieren ausgesetzt, um die Oberflächenbeschaffung und Gleichmäßigkeit zu verbessern. Ultraschallreinigung und chemische Reinigung werden verwendet, um Verunreinigungen und Oxide auf der Oberfläche zu entfernen.
Qualitätsinspektion: Das vorbereitete Zirkoniumziel unterliegt einer Qualitätsprüfung, einschließlich der dimensionalen Genauigkeit, Oberflächenrauheit, chemischer Zusammensetzung, Dichte usw. Verwenden Sie die Röntgenbeugung (XRD), das Rasterelektronenmikroskop (SEM) und andere Geräte zur Inspektion.
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