Sputtertarget aus reinem Molybdän

Heißisostatisches Pressen (HIP): Bei dieser Methode wird zunächst Molybdänpulver bei hoher Temperatur und hohem Druck komprimiert, um ein dichtes Blockmaterial zu bilden. Die HIP-Technologie kann die Dichte und Gleichmäßigkeit des Materials verbessern, Poren und Verunreinigungen reduzieren und dem Endprodukt bessere mechanische Eigenschaften und eine bessere thermische Stabilität verleihen. Diese Methode eignet sich zur Herstellung von Molybdäntargets großer Größe oder komplexer Form.
Schmelzverfahren: Molybdänmetall wird bis zum Schmelzen erhitzt und dann zum Abkühlen und Erstarren in eine Form gegossen. Das Schmelzverfahren kann Molybdäntargets mit hoher Reinheit und gleichmäßiger Struktur erzeugen. Dieses Verfahren eignet sich zur Herstellung großer Mengen von Targets in Standardgröße.
Pulvermetallurgie-Verfahren: Molybdänpulver wird zunächst in Form gepresst und dann in einer Schutzatmosphäre gesintert. Durch die Pulvermetallurgie wird die Mikrostruktur der Molybdäntargets gleichmäßiger und auch die Herstellung spezieller Formen oder Designs erleichtert.
Chemische Gasphasenabscheidung (CVD): Dies ist eine fortschrittlichere Technologie, bei der molybdänhaltige Gase bei hohen Temperaturen zersetzt werden, um Molybdänatome direkt auf dem Substrat abzuscheiden. CVD kann Molybdäntargets mit extrem hoher Reinheit und spezifischen Mikrostrukturen erzeugen, die für Anwendungen mit extrem hohen Anforderungen an die Materialleistung geeignet sind.
Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD): Ähnlich wie CVD, jedoch wird das Molybdänmaterial durch physikalische Methoden (wie Verdampfung oder Sputtern) vom Ausgangsmaterial auf das Substrat übertragen. Die PVD-Technologie eignet sich zur Herstellung von Molybdäntargets für ultradünne oder spezielle Beschichtungen.

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