Herstellungsprozess und Ablauf des Molybdäntargets
Vorbereitungsprozess vonMolybdän-Ziel
1. Die Reinheit des Molybdänpulvers beträgt mindestens 99,95 %. Das Molybdänpulver wird durch einen Heißpresssinterprozess verdichtet und in eine Form gegeben. Nachdem die Form in den Heißpresssinterofen gegeben wurde, wird dieser evakuiert. Die Temperatur des Heißpresssinterofens wird auf 3 Grad eingestellt, der Druck liegt über 20 MPa, und Hitze und Druck werden 5 Stunden lang aufrechterhalten. Der erste Molybdän-Zielrohling wird geformt.
2. Der erste Molybdän-Target-Rohling wird warmgewalzt, der erste Molybdän-Target-Rohling wird auf 1200-1500 Grad erhitzt und dann gewalzt, um den zweiten Molybdän-Target-Rohling zu bilden;
3. Nach dem Warmwalzen wird der zweite Molybdäntargetrohling geglüht. Die Glühmethode besteht darin, die Temperatur auf 800-1200 Grad einzustellen, den zweiten Molybdäntargetrohling 2-5 Stunden lang zu erhitzen und ein Molybdäntarget zu formen.
Zusammensetzungsparameter des Molybdäntargets
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Grad |
Der Verunreinigungsgehalt beträgt nicht mehr als % |
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Fe |
Ni |
Al |
Si |
Mg |
C |
N |
O |
|
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Mo-1 |
0.01 |
0.005 |
0.002 |
0.01 |
0.005 |
0.01 |
0.003 |
0.008 |
|
Mo-2 |
0.01 |
0.005 |
0.005 |
0.01 |
0.005 |
0.01 |
0.003 |
0.02 |
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