Wolframtargets werden in vielen Bereichen häufig eingesetzt, vor allem in der Halbleiterfertigung, bei Geräten mit Spallations-Neutronenquellen, bei Photolithographieprozessen, bei der Technologie zur Dünnschichtabscheidung, bei Geräten zur Kernfusion usw.
Anwendung in der Halbleiterfertigung
In der Halbleiterfertigung werden Wolframtargets hauptsächlich in Fotolithografieprozessen und der Dünnschichtabscheidungstechnologie eingesetzt. Die hohe Dichte, hohe Härte und geringe chemische Reaktivität von Wolframtargets ermöglichen eine präzise Ätzkontrolle beim Plasmaätzen, reduzieren unnötigen Materialverlust und gewährleisten die Feinheit und Integrität von Schaltkreismustern. Bei der Dünnschichtabscheidungstechnologie werden Wolframtargets durch physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) und chemische Gasphasenabscheidung (CVD) zu dichten Filmen geformt. Diese Filme weisen eine hohe Härte und Verschleißfestigkeit auf, was die mechanische Festigkeit und Haltbarkeit von Halbleiterbauelementen verbessert. Gleichzeitig tragen ihre hohe Leitfähigkeit und niedrige Impedanz dazu bei, die Effizienz der Stromleitung zu verbessern und den Stromverbrauch zu senken.
Anwendung in Spallationsneutronenquellen
Wolframtargets spielen auch in Spallations-Neutronenquellengeräten eine Schlüsselrolle. Spallationsneutronenquellen erzeugen Neutronen, indem sie schwere Atomkerne mit hochenergetischen Protonen beschießen, die zur Untersuchung der Mikrostruktur und dynamischen Eigenschaften von Materie verwendet werden. Aufgrund seines hohen Schmelzpunkts, seiner hohen Wärmeleitfähigkeit und seiner geringen Sputterrate ist Wolfram zum bevorzugten Material für Kernfusionsgeräte und Spallationsneutronenquellen geworden. Spallationsneutronenquellen können ein breiteres Neutronenenergiespektrum bereitstellen und so den Umfang der neutronenwissenschaftlichen Forschung, insbesondere der materialwissenschaftlichen Forschung, erweitern. Der Einsatz von Wolframtargets ermöglicht die Untersuchung von Wasserstoffspeichermaterialien und Batteriereaktionsgesetzen sowie die Entwicklung neuer Materialien.