ZirkoniumzieleSiehe Zirkoniummaterialien, die in Sputterbeschichtungsprozessen verwendet werden, insbesondere Materialien, die durch einen spezifischen Vorbereitungsprozess hergestellt und zur Ablagerung von Zirkoniumdünnfilmen verwendet werden. Es besteht hauptsächlich aus reinem Zirkonium (ZR) oder Zirkoniumlegierungen (z. Diese Ziele werden durch Sputtertechnologie bei hoher Temperatur auf dem Substrat abgelagert, um das erforderliche Dünnfilmmaterial zu bilden.
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Zirkoniumziel
Zirkoniumzielmetall