Tantal-TargetsNormalerweise haben sie die Form von Scheiben oder rechteckigen Platten, können aber je nach den spezifischen Anwendungsanforderungen auch in verschiedenen Formen und Größen hergestellt werden. Zu seinen wichtigsten Strukturmerkmalen gehören:
Hohe Reinheit: meist über 99,9 %, manchmal sogar bis zu 99,999 %. Durch die hohe Reinheit wird sichergestellt, dass während des Dünnschichtabscheidungsprozesses keine unerwünschten Verunreinigungen eingebracht werden.
Gleichmäßigkeit: Tantal-Targets müssen eine gleichmäßige Mikrostruktur aufweisen, um eine gleichmäßige Materialverteilung während der Dünnschichtabscheidung zu gewährleisten.
Hohe Dichte: Die Gleichmäßigkeit der Dichte ist entscheidend, um die Stabilität während der Abscheidung sicherzustellen.