Materialeigenschaften und Vorteile von Wolframzielen
Ultrahohe Schmelzpunkt und Hochtemperaturwiderstand
Tungsten hat einen Schmelzpunkt von bis zu 3422 Grad und macht es zu einem der Metalle mit dem höchsten Schmelzpunkt in der Natur. Dies ermöglicht es ihm, eine stabile Struktur in Hochtemperaturumgebungen (z.Wolframzieldurch Erweichen oder Flüchtung durch Wärme und Auswirkung der Gleichmäßigkeit des Films.
Ausgezeichnete elektrische und thermische Leitfähigkeit
Wolfram -Mobilität hat eine hohe Elektronenmobilität und ist als leitfähige Schichtmaterial (z. B. Elektroden mit Chip -Interconnect -Elektroden) geeignet. Gleichzeitig kann eine hohe thermische Leitfähigkeit die beim Sputtern erzeugte Wärme schnell auflösen und die Lebensdauer des Ziels verlängern.
Korrosion und Verschleißfestigkeit
Wolfram hat eine starke Resistenz gegen ätzende Umgebungen wie Säuren und Alkalien und eine hohe Härte (MOHS -Härte 7.5). Es ist für die Verwendung in Sputterumgebungen mit hoher Ionen -Bombardierungsintensität geeignet, um den Verlust von Zielmaterial zu verringern.
Hohe Reinheitsanforderungen
Die Reinheit von Wolframzielen mit halbleiter Qualität muss normalerweise mehr als 99,95% oder sogar 99,999% (5N-Grad) erreichen, um Verunreinigungen zu vermeiden, die den abgelagerten Film kontaminieren und die Geräteleistung beeinflussen (z. B. Kurzstrecken, Leckagen usw.).
Grundlegende Spezifikation und Reinheitsparameter des Wolframziels
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Elementname |
Wolframziel |
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Größe |
Angepasst |
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Toleranzgröße |
+\/-0. 2mm |
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Zertifikate |
ISO9001: 2008, SGS, der dritte Testbericht |
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Technik |
Vim\/hp |
Tungsten zielbezogene Bilder
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